Волинюк Д. Ю. Технологія напівпровідникових гетероструктур на основі органічних та неорганічних матеріалів для електрооптичних елементів мікроелектроніки

Об'єкт дослідження - технологічні методи створення гетероструктур на основі органічних та неорганічних матеріалів та оптичні, електрооптичні, електрофізичні та фотогенераційні явища в них для створення електрооптичних елементів мікроелектроніки. Мета дослідження - розробка технології створення нанорозмірних плівок органічних напівпровідників та спряжених полімерів на базі методу термовакуумного напилення, як складових частин фоточутливих гетероструктур для електрооптичних елементів, а також комплексне дослідження їх структурних, електрофізичних та електрооптичних властивостей. Методи дослідження - імпедансна спектроскопія, лазерна еліпсометрія, вольт-амперні та вольт-фарадні характеристики, оптична спектроскопія, інфрачервона спектроскопія з використанням Фур'є перетворення, атомна силова мікроскопія. Теоретичні і практичні результати - створені гетероструктури ITO/DiMe-PTCDI/пентацен/Al, ПЕТ/ITO/ПEДOT:ПСС/пентацен/Al на гнучкій підкладці та використано електропровідний полімер ПEДOT:ПСС як випрямний контакт до ZnSe. Новизна - розроблена технологія термовакуумного напилення нанорозмірних тонких плівок електропровідних полімерів поліортометоксианіліну та поліортотолуїдину, розроблено технологію почергового термовакуумного напилення нанорозмірних плівок органічних напівпровідників пентацену та DiMe-PTCDI для формування гетероструктури ITO/пентацен/DiMe-PTCDI/Al. Ступінь упровадження - теоретичні положення впроваджені у практику. Галузь використання - електрооптичні елементи мікроелектроніки.