Демчишин А. А. Геометричне моделювання очищення парових потоків матеріалів у вакуумі

Дисертацію присвячено питанням геометричного моделювання процесу очищення парових потоків при дуговому та електронно-променевому випаровуванні матеріалів у вакуумі технології фізичного осадження з парової фази (Physical Vapor Deposition). В роботі проведено формалізацію способів побудови робочих поверхонь електронно-іонного обладнання. Отримано рівняння сім’ї поверхонь однакової опроміненості; встановлено, що поверхня однакової опроміненості, яка відповідає параметру k=0, є поверхнею катакаустики. Розв’язано задачу розрахунку товщини осаджуємого покриття при схемі напилення з розжарюваним відбивачем. Розроблено методику імітаційного геометричного дослідження просторового розподілу багатократно відбитих променів за допомогою сферичних та гіперсферичних карт відбиття, яка не залежить від складності поверхні рефлектора. Розраховано ступінь очищення плазми для чотирьох модифікацій фільтрів відкритого типу з фрактальною моделлю поведінки джерела макрочасток. Проведено програмну реалізацію запропонованих методів та алгоритмів, що утворило фундамент цілісної системи імітаційного моделювання та візуалізації очищення парових потоків матеріалів у вакуумі. Розроблено методи та алгоритми створення фотореалістичного зображення робочих поверхонь устаткування та процесу випаровування матеріалів; напрацьовано методику оптимізації етапів візуалізації сцени.