Євсюков А. М. Циліндричні обернені розряди магнетронного типа та їх застосування

В роботі вперше запропоновано системний плазмодинамічний підхід до опису фізики циліндричного газового розряду оберненого магнетронного типу. Запропонований підхід дозволив звести опис фізики газового розряду магнетронного типу до простої плазмооптичної моделі, що заснована на принципах магнітної ізоляції електронів та еквіпотенціалізції магнітних силових ліній. Використовуючи запропоновану теоретичну модель, удосконалено циліндричний плазмооптичний магнетрон. В роботі вивчені основні його плазмодинамічні та електрофізичні властивості, які підтвердили висновки запропонованої теоретичної моделі магнетронного розряду. В рамках модифікованої моделі С. Берга показано значний вплив поверхневої рухливості атомів у плівках осадження на характер перебігу процесу реактивного магнетронного напилення. В роботі наведено дослідження емісійного оптичного спектра плазми циліндричного технологічного магнетрона оберненого типу та проаналізовані основні фізичні процеси, які визначають характер випромінення атомів в різноманітних режимах розряду: в режимі синтезу плівок титану та його бінарних сполук (TiN и TiO2).