Ковальов Ю. Г. Розробка технології рідинної епітаксії в системі Pb-Sn-Te-Se з низьким вмістом селену

Об'єктом дослідження є технологія отримання епітаксійних шарів багатокомпонентних твердих розчинів Pb1-xSnxTe1-ySey із рідкої фази. Метою дисертаційної роботи була розробка технологічних процесів вирощування методом РЕ тонких ЕШ твердих розчинів А4В6 з малою шириною забороненої зони і ГС на їх основі з відтворюваною товщиною та різкою межею розділу. В роботі використані сучасні теоретичні та експериментальні методи дослідження. Вперше встановлено особливості фазових рівноваг у системі Pb-Sn-Te-Se та розроблено модель процесів взаємодії напівпровідникових підкладок із розчином-розплавом в області складів з незначним вмістом селену. Для вирощування структурнодосконалих ЕШ Pb1-xSnxTe1-ySey, як нелегованих так і легованих перехідними металами, встановлені оптимальні технологічні режими.