Сєдін Є. О. Розробка технології виробництва кремнієвих одношарових епітаксійних структур з покращеними структурними характеристиками

Дисертацію присвячено розробці технології виробництва КОЕС з різкими концентраційно-перехідними областями і поліпшеними структурними характеристиками. Виконано розрахунки термопружного вигину і термонапруг, які можна застосувати для прогнозування виникнення дислокацій, ліній ковзання та інших структурних дефектів, що з'являються в КОЕС в результаті термообробки. Розроблена установка "Вертикаль-2МА" для отримання КОЕС при зниженому тиску і температурі в реакторі. Розроблено науково-обґрунтована методика і пристрій контролю складних форм вигину і напруги в КОЕС. Розраховані вирази для визначення критичних напружень Gкр і критичного радіального градієнта температур Ткр та визначено взаємозв'язок цих виразів з діаметром, товщиною КОЕС і пружними постійними: модулем Юнга Е та коефіцієнтом Пуассона. Вперше встановлено, що при епітаксії методом піролізу силану при температурі 850? і тиску 104 Па концентраційна перехідна область знижується до 10% при одночасному зниженні щільності дислокацій Nd до 3·10^2 см^(-2).