Лозінський В. Б. Розробка технологій покращення властивостей оптичних елементів на основі GaAs, діелектричних плівок та сонячних елементів з їх використанням.

В дисертації розроблено нову технологію, спрямовану на покращення оптичних властивостей та деградаційної стійкості елементів ІЧ - оптики на основі напівізолюючого GaAs. Технологія включає плазмові обробки та осадження алмазоподібних вуглецевих плівок. Встановлено, що завдяки застосуванню плазмових обробок перед осадженням АВП оптичне пропускання елементів на основі GaAs в ІЧ області спектру може бути суттєво покращене. Вперше показано, що деградаційна стійкість оптичних елементів на основі кристалів напівізолюючого GaAs до дії гама-опромінення може бути покращена завдяки осадженню просвітлюючих і захисних АВП. Показано, що завдяки структурній модифікації АВП під дією гама-квантів у напрямку утворення sp3 - координованих C-C зв'язків пропускання структури АВП-GaAs після дії гама-опромінення може навіть перевищувати пропускання вихідної (неопроміненої) структури. Оптимізовано технологічні режими осадження АВП задля отримання плівок з заданими властивостями. Показана можливість покращення к.к.д. СЕ на основі мультикристалічного кремнію в 1,5 рази завдяки осадженню АВП та використанню розробленої фотовольтаїчної концентраторної системи. Встановлено механізми модифікації та відновлення структури плівок SiO2 при іонних обробках та УФ - опроміненні. Розроблено автоматизовану систему управління установкою газодетонаційного осадження ізолюючих, теплопровідних шарів.