Клюй А. М. Вдосконалення технологій покращення оптичних властивостей та структури напівпровідникових і діелектричних плівок для сонячних елементів.

В дисертації визначено механізми впливу потужності ВЧ розряду на властивості алмазоподібних вуглецевих плівок та встановлено оптимальні режими осадження для отримання захисних і просвітлюючих плівок для сонячних елементів. Досліджено вплив УФ та гамма-опромінення на оптичні властивості АВП. Запропоновано механізм, відповідно до якого УФ кванти розривають зв'язки з воднем і зменшують їх кількість, активують кисень повітря, який дифундує в плівку, збільшують кількість атомів sp^3C та зв'язків CO, CN, і, як наслідок, збільшують оптичну ширину забороненої зони. Під дією гамма-опромінення відбувається sp^2 гібридизація атомів C, вивільнюється і дифундує в підкладинку водень, утворюються додаткові зв'язки з вуглецю з азотом. Збільшення вмісту азоту в плівках покращує їх деградаційну стійкість до дії гамма-опромінення, що дозволяє використовувати такі плівки з метою покращення деградаційної стійкості СЕ на основі кремнію. В епітаксіальних плівках GaN, опромінених гамма-квантами знайдено ефект "малих доз", який супроводжується зменшенням уширення спектральних смуг в спектрах електровідбиття, які відповідають прямим переходам, і, відповідно, структурним упорядкуванням плівки. При цьому також має місце зменшення рівня внутрішніх механічних напружень стиску. Показано, що мікрохвильова обробка навіть малої потужності є перспективною для поліпшення властивостей епітаксіальних плівок GaN, зокрема, для зменшення рівня механічних напружень в них і поліпшення структурної досконалості приповерхневого шару плівки. Встановлено фізичні механізми впливу таких активних обробок, як термовідпал на повітрі, "хлоридна" обробка, обробка в плазмі водню та нанесення тонких АПВ плівок на фотоелектричні властивості плівок AIIBVI. Показано, що комбінації таких обробок дозволяють збільшити довжину дифузії носіїв заряду в плівці CdTe. Розроблено конструкції та виготовлено експериментальні зразки автономних геліоенергетичних систем для живлення електричного обладнання різного призначення.