Дуванов С. М. Резонансное упругое рассеяние протонов и особенности его применения в анализе тонкопленочных структур

Объект исследования: Сечения 12 С(р,р)12 С рассеяния в области изолированного резонанса при энергии 1,73МэВ под углом 170 градусов; комплексное применение методов резерфордовского обратного рассеяния ионов (РОР), резонансного обратного рассеяния протонов (РезОР) и протонов отдачи (ПО); стекло, керамика на основе нитрида бора (ВN) и поликора (AL2O3), модифицированных ионно-термическойй. Цель исследования: Разработка комплекса методов на основе РОР, РезОР и ПО с целью повышения чувствительности, точности и глубины анализа распределения легкой примеси в тяжелой матрице; исследование зависимости профилей распределения элементов и поверхностной электропроводности стекла, керамики на основе BN и AL2O3 от способов ионно-термической обработки. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные измерения, физическое и математическое моделирование. Практические результаты и новизна: Получены новые данные по сечениям 12С(р,р)12С рассеяния в области изолированного резонанса при энергии 1,73МэВ под углом 170 градусов; разработан комплекс методов на основе РОР, РезОР и ПО; повышена чувствительность, точность и глубина анализа распределения легких элементов в тяжелой матрице; исследована зависимость профилей распределения элементов. Предмет и степень внедрения: Комплекс методов на основе РОР, РезОР и ПО используются на ускорителе ЭГ-5 ЛНФ ОИЯИ (г.Дубна). Сфера (область) использования: Исследование поверхности твердого тела.