Рудніцький В. А. Особливості запалювання і горіння деяких розрядів низького тиску

В дисертації досліджувались розряди низького тиску (розряд Пеннінга з холодними катодами; діодний і тріодний дуговий розряд в парах анода при штучному розжаренні катода; пучково-плазмовий і пучково-магнетронний розряди з випаровуванням електрода). Пояснення їхніх особливостей запалювання і горіння становило мету роботи. Визначення концентрації, температури заряджених частинок і потенціалу плазми проводилось плоским зондом Ленгмюра, багатосітковим аналізатором заряджених частинок. Виявлено і пояснено зони нестабільного горіння розряду в комірці Пеннінга. Вивчено вплив напуску газу на розряд з випаровуванням анода. Створено на основі діодного і тріодного розряду в парах анода дослідний зразок плазмохімічного реактора синтезу тонких плівок оксидів, гідридів, нітридів та інших сполук широкого класу металів на підкладинках довільної провідності. Він має переваги перед пристроями на основі методу конденсації з іонним бомбардуванням, наприклад, "Булат": безкрапельні плазмові потоки, більш широкий вибір робочи х речовин, які випаровуються. Плазмохімічний реактор особливо ефективний у випадку тонких високоадгезивних плівок в електроніці, електротехніці, мікромеханіці та інших областях, де не допускаються краплі робочої речовини в синтезованих плівках.