Оксанич А. П. Методи і апаратура контролю структурно- геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів і структур в умовах їх серійного виробництва

English version

Дисертація на здобуття ступеня доктора наук

Державний реєстраційний номер

0502U000356

Облікова картка дисертації

0502U000356.pdf

Здобувач

Спеціальність

  • 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки

25-09-2002

Спеціалізована вчена рада

Д 64.052.03

Харківський національний університет радіоелектроніки

Анотація

Дисертація присвячена розробці науковообгрунтованих методів для контролю деформацій, механічних напруг структурної досконалості і створення на їх основі принципів конструювання вимірювального ростового обладнання, яке дозволяє безруйнівним способом експресно, контролювати на усіх стадіях напівпровідникового виробництва геометричні параметри і внутрішню напругу напівпровідникових пластин і структур, а також створенню апаратури для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів в процесі вирощування.

Читати повністю

Файли

AREF.DOC

DIS.doc

Схожі дисертації

0421U103895

Цибуленко Вадим Володимирович

Розробка методу скануючої рідиннофазної епітаксії

0421U103434

Непокупна Тетяна Анатоліївна

Технологія виробництва комбінованих детекторів іонізуючого випромінювання

0421U103151

Косуля Олександр Валерійович

Розробка методик мас-спектрометрії для дослідження діелектричних матриць та напружених нанорозмірних структур

0421U103025

Могиляк Іван Адріанович

Лазерне мікро- наноструктурування та легування приповерхневих шарів напівпровідникових матеріалів.

0521U101588

Сніжко Дмитро Вікторович

Концепція побудови сенсорних систем з використанням нанофотонних та наноелектрохімічних технологій