Шуаібов О. К. Оптична діагностика активних середовищ електророзрядних джерел випромінювання на атомах інертних газів та їх галогенідах

Дисертація присвячена встановленню основних характеристик та процесів в спонтанних джерелах випромінювання на атомах та галогенідах інертних газів з накачуванням поперечним об'ємним розрядом, тліючими розрядами низького тиску та різними типами коронних розрядів. В роботі розвинуто напрямок оптичної діагностики нерівноважної електророзрядної плазми інертних газів та їх сумішей з галогеновмісними молекулами, який грунтується на нестаціонарній спектроскопії випромінювання і поглинання. Встановлено характеристики і механізм запалювання поперечного об'ємного розряду з допробійним іонізаційним розмноженням електронів в сумішах інертних газів і галогеновмісних молекул. Розроблено та оптимізовано ряд УФ-ВУФ спонтанних джерел випромінювання на В-Х переходах моногалогенідів інертних газів та продуктах дисоціації молекул води, які випромінюють в діапазоні 175-353 нм. Розширені плазмохімічні застосування поперечного розряду в хлорі, фреонах та силанвмісних сумішах. Виявлено умови існування та характеристики багатоелектродних коронних розрядів в інертних газах та їх сумішах з молекулами N2, СО, СО2, Н2, SF6, F2, CCl4 та НСl, що використовуються в електророзрядних джерелах випромінювання.