Палагін В. А. Методологічні основи проектування технологій компонентів мікроелектромеханічних систем

Об'єкт - технологічні процеси виробництва компонентів мікроелектромеханічних систем МЕМС. Мета - технологічні процеси виробництва компонентів мікроелектромеханічних систем МЕМС. Методи - математичні методи теорії подібності та розмірностей фізичних величин; електромеханічних аналогій у математичних моделях компонентів МЕМС; матрично-векторних операцій та марківських процесів; байєсівських статистичних рішень; теорія напружено-деформованого стану матеріалів і елементів МЕМС; САПР. Результати - вперше методологічними основами запропоновано визначити конвергенцію незвичайних фізичних явищ у мікромініатюрних виробах з урахуванням зменшення лінійних розмірів компонентів і зміни співвідношень дії різних видів сил; вперше запропоновані метод і технологія створення МЕМС багатозондових підмикальних пристроїв для контролю електричних параметрів багатошарових комутаційних структур; розвиток методу управління електрофізичними параметрами компонентів за різних поєднань діючих у МЕМС сил; - розвиток методу прогнозування та розрахунку виходу придатних компонентів МЕМС на основі базових елементів конструкції. Впроваджено - у наукову практику і навчальний процес ХНУРЭ, НДТІП, СКБ "Полісвіт", "Об'єднання Комунар", Харківський науково-дослідний інститут технології машинобудування", НВФ "ВЕСТ ЛАБС ЛТД", Корпорація ТРИОЛ ТОВ НВО "Вертикаль", "Titan Machinery Limited". Галузь використання - проектування технологічних процесів виробництва компонентів МЭМС