Байцар Р. И. Разработка полупроводниковых вибрационно-частотных сенсоров и оптимизация их характеристик

Объект исследования: Полупроводниковые нитевидные кристаллы (НК) и сенсоры. Цель исследования: Управляемое полечение НК, изучение специфики их свойств, создание нового класса измерительных сенсоров. Методы исследования и аппаратура: Метод ХТР (выращивания) НК, рентгеноструктурный, металлографический, циклического нагружения, релаксации напряжения. Теоретические результаты и новизна: Развита теория преобразователей механических колебаний в частоту, установлена связь механических и электрических параметров. Практические результаты и новизна: На уровне изобретений разработаны новые конструкции полупроводниковых сенсоров и технология их изготовления. Предмет и степень внедрения: Внедрены экспериментальные и опытно-экспериментальные образцы приборов. Эффективность внедрения: Повышение надежности работы систем, эффективности поверки измерительных средств и контроля экологических параметров. Сфера (область) использования: Авиационная техника, метрология, океанология, приборостроение.