Мошель Н. В. Нематические жидкие кристаллы в неразрушающем контроле материалов и изделий микроэлектроники

Объект исследования: Структуры "металл-нематический жидкий кристалл (НЖК) -металл", "металл-НЖК-диэлектрик-полупроводник". Цель исследования: Разработка физических основ, методик и технологии неразрушающего контроля тонких пленок и пленочных структур с применением НРК. Методы исследования и аппаратура: Экспериментальные: ВАХ, ВКХ, поляризационно-микроскопические, РЭМ, физическое моделирование; теоретически-математическое моделирование. Теоретические результаты и новизна: Принцип дефектоскопии тонких пленок с использованием НЖК; комбинированный электрооптический эффект в НЖК как универсальный метод дефектоскопии. Практические результаты и новизна: Комплекс методик и технология неразрушающего контроля диэлектрических, металлических, резистивных, полупроводниковых пленок и многослойных пленочных структур на основе НЖК. Предмет и степень внедрения: Внедрены методики контроля. Эффективность внедрения: Снижение стоимости изготовления изделий, повышение процента выхода годных изделий. Сфера (область) использования: Электронная и электротехническая промышленность, тонкопленочная и твердотельная микроэлектроника.