Костенко В. Л. Адаптивно регулируемые комбинированные твердотельные структуры и устройства функциональной электроники на их основе

Объект исследования: Комбинированные твердотельные полифункциональные адаптивно регулируемые структуры, сенсоры и устройства на их основе. Цель исследования: Создание нового класса твердртельных вертикально-интегрированных структур, исследование взаимосвязанных процессов в структурах, разработка микроэлектронных сенсоров. Методы исследования и аппаратура: Электронно-микроскопические, радиофизические, теоретические, металлолграфические. Теоретические результаты и новизна: Получены физическеи и математические модели комбинированных структур, разработан алгоритм проектирования, решены проблемы контроля чувствительного элем. СВЧ. Практические результаты и новизна: Разработаны новые адаптивно регулируемые комбинированные структуры, созданы новые конструкции микроэлектронных сенсоров. Предмет и степень внедрения: Микроэлектронные сенсоры внедрены на предпряитиях Украины. Эффективность внедрения: Не подсчитывалась. Сфера (область) использования: Электронная промышленность, военная промышленность.